Общая информация

Сетевая энциклопедия "Ученые России"

Педагогическая деятельность

Расписание

Сводное расписание

Список учебно-методических работ

Научная деятельность

Сведения о диссертации

Направления научных исследований

Научные работы студентов

Список монографий

Список научных публикаций

Объекты интеллектуальной собственности

pk@nstu.ru, +7 (383) 319 59 99 — приёмная комиссия

Портал НГТУ НЭТИ

Контакты

Главная Научная деятельность

Направления научных исследований

Плазмохимическое травление кремния
Руководитель: Богомолов Б. К.
Кафедра: ППиМЭ

Наверх