Список учебно-методических работ

1. Васильев В. Ю. Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста : учеб. пособие / В. Ю. Васильев. – Санкт-Петербург : Лань, 2024. – 344 с. – 30 экз. – ISBN 978-5-507-48885-8. – Текст : непосредственный.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой

2. Васильев В. Ю. Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем : учеб. пособие / В. Ю. Васильев. – Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2023. – 128 с. – 50 экз. – ISBN 978-5-7782-4926-4. – Текст : непосредственный.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой

3. Васильев В. Ю. Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учеб. пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2022. - 130 с. - 30 экз. - ISBN 978-5-7782-4726-0. - Текст : непосредственный.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой

4. Васильев В. Ю. Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учеб. пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2021. - 100 с. - 50 экз. - ISBN 978-5-7782-4389-7.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой

5. Васильев В. Ю. Современное производство изделий микроэлектроники : учеб. пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2019. - 88 с. - 50 экз. - ISBN 978-5-7782-3907-4.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой

6. Васильев В. Ю. Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2019. - 107 с. - 50 экз. - ISBN 978-5-7782-3915-9.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой