Васильев
Владислав Юрьевич
Педагогическая деятельность
Научная деятельность
pk@nstu.ru, +7 (383) 346-02-31 — приёмная комиссия

Список научных публикаций

2020
1. Vasilyev V. Y. Review—mechanical stress in chemically vapor phase deposited boron- and phosphorus-contained silicate glass thin films: a review / V. Y. Vasilyev, G. Kittilsland // ECS Journal of Solid State Science and Technology. - 2020. - Vol. 9, № 4. - Art. 043003. - DOI: 10.1149/2162-8777/ab8d93.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
2. Васильев В. Ю. Атомно-слоевое осаждение тонких пленок диоксида кремния для микро- и наноэлектроники. Ч. 3. Процессы с азотсодержащими предшественниками = Atomic layer deposition of silicon dioxide thin films for micro- and nanoelectronics. Pt. 3. Processes with nitorgen-containing precursors / В. Ю. Васильев // Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника = Electronic engineering. Series 3. Microelectronics. - 2020. – № 1 (177). – С. 19–30. - DOI: 10.7868/S2410993220010030.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
3. Васильев В. Ю. Атомно-слоевое осаждение тонких пленок нитрида кремния и диоксида кремния (обзор литературных данных) / В. Ю. Васильев // Кузнецовские чтения–2020 : 5 семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы : прогр. и тез. докл., Новосибирск, 3–5 февр. 2020 г. – Новосибирск : ИНХ СО РАН, 2020. – С. 24. - ISBN 978-5-90168-845-8.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
4. Васильев В. Ю. Атомно-слоевое осаждение тонких слоев нитрида кремния для микро- и наноэлектроники = Atomic layer deposition of silicon nitride thin films for micro- and nanoelectronics / В. Ю. Васильев // Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника = Electronic engineering. Series 3. Microelectronics. - 2020. – № 1 (177). – С. 31–41. - DOI: 10.7868/S2410993220010042.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
5. Васильев В. Ю. Конформность роста тонких слоев из газовой фазы на рельефных микро- и наноструктурах. Часть 1. Проблематика и методология оценки роста слоев на рельефах = Conformaliity of thin layers growth on relief micro- and nanostructures. Part 1. Issues and methodology for evaluation of layer growth on reliefs / В. Ю. Васильев // Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника = Electronic engineering. Series 3. Microelectronics. - 2020. – № 2 (178). – С. 16–25. - DOI: 10.7868/S2410993220020037.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
6. Васильев В. Ю. Конформность роста тонких слоев из газовой фазы на рельефных микро и наноструктурах. Часть 2. Процессы химического осаждения из газовой фазы = Conformaliity of thin layers growth on relief micro- and nanostructures. Part 2. Thin film growth conformality for CVD processes in flow-type reactors / В. Ю. Васильев // Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника = Electronic engineering. Series 3. Microelectronics. - 2020. – № 3 (179). – С. 16–25. - DOI: 10.7868/S2410993220030033.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
7. Васильев В. Ю. Конформность роста тонких слоев из газовой фазы на рельефных микро и наноструктурах. Часть 3. Процессы атомно-слоевого осаждения = Conformaliity of thin layers growth on relief of micro- and nanostructures. Part 3. Thin film growth conformality for ALD processes / В. Ю. Васильев // Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника = Electronic engineering. Series 3. Microelectronics. - 2020. – № 3 (179). – С. 26–37. - DOI: 10.7868/S2410993220030045.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
2019
8. Cherepanov A. A. An evaluation of SiGe HBT operation at cryogenic temperatures [Electronic resource] / A. A. Cherepanov, I. L. Novikov, V. Y. Vasilyev // 20 International conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2019 : conf. proc., Altai Republic, Erlagol, 29 June – 3 July, 2019. – IEEE, 2019. – P. 23-27. - Mode of access: https://ieeexplore.ieee.org/document/8823464/authors#authors. - Title from screen - ISBN 978-1-7281-1753-9. - DOI: 10.1109/EDM.2019.8823464.
Персональные сайты авторов: Новиков И. Л., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
9. Vasilyev V. Y. Estimating the interrelation between the rate of atomic layer deposition of thin platinum-group metal films and the molecular mass of reactant precursors / V. Y. Vasilyev // Russian Microelectronics. - 2019. - Vol. 48, iss. 4. - P. 208-219. - DOI: 10.1134/S1063739719040103.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
10. Васильев В. Ю. Атомно-слоевое осаждение тонких пленок диоксида кремния для микро- и наноэлектроники. Ч. 1. Постановка задач, методология осаждения пленок = Atomic layer deposition of silicon dioxide thin films for micro- and nanoelectronics. Pt. 1. Tasks, Methodology For Film Deposition / В. Ю. Васильев // Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника = Electronic engineering. Series 3. Microelectronics. - 2019. – № 4 (176). – С. 45–53.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
11. Васильев В. Ю. Атомно-слоевое осаждение тонких пленок диоксида кремния для микро- и наноэлектроники. Ч. 2. Процессы с силанами, цианатами, хлорсиланами, кислородсодержащими реагентами = Atomic layer deposition of silicon dioxide thin films for micro- and nanoelectronics. Pt. 2. Deposition with silanes, cyanates, chlorosilanes, oxygen-contained precursors / В. Ю. Васильев // Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника = Electronic engineering. Series 3. Microelectronics. - 2019. – № 4 (176). – С. 54–64.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
12. Васильев В. Ю. О методологии оценки конформности атомно-слоевого осаждения тонких пленок в высокоаспектных наноструктурах = The quantification of thin film atomic layer deposition conformality in high aspect ratio nanostructures / В. Ю. Васильев // Наноиндустрия = Nanoindustriya. - 2019. - Т. 12, № 3-4. - С. 194-204 - DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.3-4.194.204.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
13. Васильев В. Ю. Оценка взаимосвязи скорости атомно-слоевого осаждения тонких пленок металлов платиновой группы и молекулярной массы реагентов-предшественников / В. Ю. Васильев // Микроэлектроника = Mikroelektronika. - 2019. – Т. 48, № 4. – С. 249–262. - DOI: 10.1134/S0544126919040100.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
14. Черепанов А. А. Считывающая электроника для СКВИД-магнитометров постоянного тока. Ч. 2. Системы считывания и их ограничения = Read-out electronics for dc-squid magnetometers. Pt 2. Read-out systems and their limitations / А. А. Черепанов, И. Л. Новиков, В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique = Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. - 2019. - №4. - С. 231-246 - DOI: 10.17587/nmst.21.231-246 .
Персональные сайты авторов: Новиков И. Л., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
15. Черепанов А. А. Считывающая электроника для СКВИД-магнитометров постоянного тока. Часть 1. Магнитометры постоянного тока и их ограничения = Read-Out Electronics for dc-SQUID Magnetometers. Part 1. Dc Magnetometers and their Limitations / А. А. Черепанов, И. Л. Новиков, В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique = Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. - 2019. – Т. 21, № 1. – С. 40–51. - DOI: 10.17587/nmst.21.40-51.
Персональные сайты авторов: Новиков И. Л., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
16. Черепанов А. А. Считывающая электроника для СКВИД-магнитометров постоянного тока. Часть 3. Полупроводниковая криогенная электроника = Read-out electronics for dc-SQUID magnetometers. Part 3. Semiconductor cryogenic electronics / А. А. Черепанов, И. Л. Новиков, В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique = Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. - 2019. – Т. 21, № 5. – С. 298–309. - DOI: 10.17587/nmst.21.298-309.
Персональные сайты авторов: Новиков И. Л., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
17. Васильев В. Ю. Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 6. Каталитическое осаждение в проточных реакторах = Silicon Nitride Thin Film Deposition for Microelectronics and Microsystem Technologies. Part 6. Catalytic Processes in the Flow Type Reactors / В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique = Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. - 2019. – Т. 21, № 1. – С. 3–13. - DOI: 10.17587/nmst.21.3-13.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
18. Васильев В. Ю. Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 7. Обобщение информации по методам осаждения и особенностям пленок = Silicon nitride thin film deposition for microelectronics and microsystem technologies. Part 7. Summary on the deposition methods and basic film features / В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique = Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. - 2019. – Т. 21, № 3. – С. 131–142. - DOI: 10.17587/nmst.21.131-142.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
19. Васильев В. Ю. Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 8. Влияние водорода в пленках на их свойства = Silicon nitride thin film deposition for microelectronics and microsystem technologies. Part 8. Hydrogen influence on basic film properties / В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique = Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. - 2019. – Т. 21, № 6. – С. 352–367. - DOI: 10.17587/nmst.21.352-367.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
2018
20. Antonov А. А. A ZVS/ZCS hybrid driver integrated circuit in 250 nm BCD technology for energy-efficient switch mode power supply units / А. А. Antonov, I. V. Pichugin, I. K. Surin, V. Y. Vasilyev ; [sci. ed. V. Y. Vasilyev] // Актуальные проблемы электронного приборостроения (АПЭП–2018) = Actual problems of electronic instrument engineering (APEIE–2018) : тр. 14 междунар. науч.-техн. конф., Новосибирск, 2–6 окт. 2018 г. : в 8 т. – Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2018. – Т. 1, ч. 6. – С. 52-57. - 45 экз. - ISBN (NSTU) 978-5-7782-3614-1
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
21. Cherepanov A. A. An evaluation of CMOS inverter operation under cryogenic conditions / A. A. Cherepanov, I. L. Novikov, V. Y. Vasilyev // The 19 international conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2018 : proc., Erlagol, Altai, 29 June – 3 July 2018. – IEEE Computer Society, 2018. – P. 40-43. - ISBN 978-153865021-9. - DOI: 10.1109/EDM.2018.8435038.
Персональные сайты авторов: Новиков И. Л., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
22. Antonov A. A. An interface model of the interconnection between integrated circuit chip die and printed circuit board / A. A. Antonov, I. K. Surin ; [sci. ed. V. Y. Vasiliev] // The 19 international conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2018 : proc., Erlagol, Altai, 29 June – 3 July 2018. – IEEE Computer Society, 2018. – P. 225-230. - ISBN 978-153865021-9. - DOI: 10.1109/EDM.2018.8434983 .
Проверено библиотекой
23. Cherepanov А. А. Test Chip Development for Evaluation of 180 nm SiGe Integrated Circuit Technology Operation under Cryogenic Conditions / А. А. Cherepanov, V. Y. Vasilyev ; [sci. ed. V. Y. Vasilyev] // Актуальные проблемы электронного приборостроения (АПЭП–2018) = Actual problems of electronic instrument engineering (APEIE–2018) : тр. 14 междунар. науч.-техн. конф., Новосибирск, 2–6 окт. 2018 г. : в 8 т. – Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2018. – Т. 1, ч. 1. - С. 32-35. - 45 экз. - ISBN(NSTU) 978-5-7782-3614-1.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
24. Васильев В. Ю. Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Ч. 1. Термически активированные процессы в проточных реакторах = Silicon Nitride Thin Film Deposition for Microelectronics and Microsystem Technologies. Part 1. Processes in Flow Reactors with Thermal Activation / В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique = Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. - 2018. - Т. 20, № 5. - С. 287-296. - DOI: 10.17587/nmst.20.287-296.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
25. Васильев В. Ю. Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Ч. 3. Плазмоактивированные процессы в проточных реакторах = Silicon nitride thin film technologies for microelectronics and microsystem technologies. Part 3. Plasma activated processes in the flow reactors / В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique = Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. - 2018. – Т. 20, № 9. – С. 542–554. - DOI: 10.17587/nmst.20.542-554.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
26. Васильев В. Ю. Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Ч. 4. Процессы в проточных реакторах с активацией плазмой высокой плотности = Silicon nitride thin film deposition for microelectronics and microsystem technologies. Part 4. Processes in the flow reactors with high-density plasma activation / В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique = Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. - 2018. – Т. 20, № 10. – С. 585–595. - DOI: 10.17587/nmst.20.585-595 .
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
27. Васильев В. Ю. Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Ч. 5. Плазмоактивированные процессы в реакторах циклического действия = Silicon nitride thin film deposition for microelectronics and microsystem technologies. Part 5. Plasma-activated processes in the cycle-type reactors / В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique = Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. - 2018. – Т. 20, № 11. – С. 659–675. - DOI: 10.17587/nmst.20.659-675 .
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
28. Васильев В. Ю. Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Ч.2. Термически-активированные процессы в реакторах циклического действия = Silicon Nitride Thin Film Deposition for Microelectronics and Microsystem Technologies. Part 2. Processes in Cycle-Type Reactors with Thermal Activation / В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique = Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. - 2018. – Т. 20, № 6. – С. 329–339. - DOI: 10.17587/nmst.20.329-339.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
29. Surin I. K. 1.58 GHz low noise amplifier design and verification in 130 nm CMOS Technology / I. K. Surin, A. A. Antonov ; [sci. ed. V. Y. Vasiliev] // The 19 international conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2018 : proc., Erlagol, Altai, 29 June – 3 July 2018. – IEEE Computer Society, 2018. – P. 231-234. - ISBN 978-153865021-9. - DOI: 10.1109/EDM.2018.8434941.
Проверено библиотекой
2017
30. Vasilyev V. Y. Comparative analysis of platinum group metals thin films ALD/CVD features / V. Y. Vasilyev // Atomic layer deposition (ALD Russia–2017) : book of abstr., 2 intern. workshop, Saint-Petersburg, 24–30 Sept. 2017. – Saint-Petersburg : SPSIT, 2017. – P. 62.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
31. Cherepanov A. A. Integrated low noise amplifiers for cryogenic applications / A. A. Cherepanov, V. Y. Vasilyev // The 18 International conference on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2017 : proc., Altai, Erlagol, 29 June – 3 July 2017. – Novosibirsk : NSTU, 2017. – P. 142-145. - ISBN 978-1-5090-6687-2.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
32. Vasilyev V. Y. Structure, composition, and electrical resistance of thin ruthenium metallic layers obtained by pulsed chemical vapor deposition / V. Y. Vasilyev // Journal of Structural Chemistry. - 2017. - Vol. 58, № 8. - P. 1538-1545. - DOI: 10.1134/S0022476617080091.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
33. Time domain and ZCS approximation in tristable digital buffer amplifiers engineering for power converters / A. A. Antonov, M. S. Karpovich, I. V. Pichugin, V. A. Ryzhkov, V. Y. Vasilyev // The 18 International conference on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2017 : proc., Altai, Erlagol, 29 June – 3 July 2017. – Novosibirsk : NSTU, 2017. – P. 537-540. - ISBN 978-1-5090-6687-2.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
34. Surin I. K. Wide temperature range low drop output units realized with 250 nm 40 V BCD technology / I. K. Surin, V. A. Ryzhkov, V. Y. Vasilyev // The 18 International conference on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2017 : proc., Altai, Erlagol, 29 June – 3 July 2017. – Novosibirsk : NSTU, 2017. – P. 477-480. - ISBN 978-1-5090-6687-2.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
35. Васильев В. Ю. Механические напряжения в тонких пленках силикатных стекол, полученных химическим осаждением из газовой фазы / В. Ю. Васильев // Кузнецовские чтения-2017 : 4 семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы : программа и тез. докл., Новосибирск, 1–3 февр. 2017 г. – Новосибирск : ИНХ СО РАН, 2017. – С. 56.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
36. Антонов А. А. Разработка интегральных микросхем по высоковольтным субмикронным технологиям для силовой электроники / А. А. Антонов, В. Ю. Васильев, Ю. Н. Попов // Наноиндустрия. - 2017. – Спецвып. (74). – С. 265–274.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
37. Васильев В. Ю. Структура, состав и проводимость тонких слоев металлического рутения, полученных импульсным осаждением из газовой фазы / В. Ю. Васильев // Кузнецовские чтения-2017 : 4 семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы : программа и тез. докл., Новосибирск, 1–3 февр. 2017 г. – Новосибирск : ИНХ СО РАН, 2017. – С. 71.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
38. Васильев В. Ю. Структура, состав и электрическое сопротивление тонких слоев металлического рутения, полученных импульсным осаждением из газовой фазы = Structure, composition, and electrical resistance of thin ruthenium metallic layers obtained by pulsed chemical vapor deposition / В. Ю. Васильев // Журнал структурной химии = Zhurnal strukturnoi khimii. - 2017. – Т. 58, № 8. – С. 1589–1596. - DOI: 10.26902/JSC20170809.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
2016
39. Active output rectifier controller IC in 250 nm BCD technology for high-efficiency power converters / V. A. Ryzhkov, A. A. Antonov, M. S. Karpovich, V. Y. Vasilyev // The 17 international conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2016 : proc., Altai, Erlagol, 30 June – 4 July 2016. – Novosibirsk : NSTU, 2016. – P. 611-616. - ISBN 978-5-94301-628-8. - DOI: 10.1109/EDM.2016.7538808.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
40. Electrostatic discharge protection in 250 nm BCD technology for multi-functional control integrated circuits for power converters / M. C. Karpovich, V. D. Lys, К. Е. Blum, V. Y. Vasilyev // The 17 international conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2016 : proc., Altai, Erlagol, 30 June – 4 July 2016. – Novosibirsk : NSTU, 2016. – P. 456-461. - ISBN 978-5-94301-628-8.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
41. High-voltage low drop output voltage regulator with output current fold-back protection in 250 nm BCD technology / V. A. Ryzhkov, M. S. Karpovich, I. K. Surin, V. Y. Vasilyev // The 17 international conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2016 : proc., Altai, Erlagol, 30 June – 4 July 2016. – Novosibirsk : NSTU, 2016. – P. 549-554. - ISBN 978-5-94301-628-8.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
42. “In silicon” verification of multi-functional control integrated circuits in 250 nm BCD technology for high-efficiency power converters / A. A. Antonov, M. S. Karpovich, I. V. Pichugin, V. Y. Vasilyev // Актуальные проблемы электронного приборостроения (АПЭП–2016) = Actual problems of electronic instrument engineering (APEIE–2016) : тр. 13 междунар. науч.-техн. конф., Новосибирск, 3–6 окт. 2016 г. : в 12 т. – Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2016. – Т. 1, ч. 3. – С. 83-87. - 60 экз. - ISBN 978-5-7782-2991-4.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
43. Model of wideband RF short-distance locator / A. A. Cherepanov, V. V. Perov, A. A. Drozdov, Y. M. Ivanov ; sci. ed. V. Y. Vasilyev // The 17 international conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2016 : proc., Altai, Erlagol, 30 June – 4 July 2016. – Novosibirsk : NSTU, 2016. – P. 201-204. - ISBN 978-5-94301-628-8.
Проверено библиотекой
44. Multi-functional control integrated circuits in 250 nm BCD technology for high-efficiency power converters / А. A. Antonov, M. S. Karpovich, I. V. Pichugin, V. Y. Vasilyev // The 17 international conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2016 : proc., Altai, Erlagol, 30 June – 4 July 2016. – Novosibirsk : NSTU, 2016. – P. 411-416. - ISBN 978-5-94301-628-8.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
45. Cherepanov A. A. Test Submicron Integrated Circuit for Wideband RF Short-Distance Locator with Noise Modulation / A. A. Cherepanov, V. D. Lys ; sci. ed. V. Y. Vasilyev // The 17 international conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices, EDM 2016 : proc., Altai, Erlagol, 30 June – 4 July 2016. – Novosibirsk : NSTU, 2016. – P. 205-209. - ISBN 978-5-94301-628-8.
Проверено библиотекой
46. Verification «In Silicon» of the active output rectifier controller IC in 250 nm BCD technology for highefficiency power converters / V. A. Ryzhkov, A. A. Antonov, M. S. Karpovich, I. K. Surin, V. Y. Vasilyev // Актуальные проблемы электронного приборостроения (АПЭП–2016) = Actual problems of electronic instrument engineering (APEIE–2016) : тр. 13 междунар. науч.-техн. конф., Новосибирск, 3–6 окт. 2016 г. : в 12 т. – Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2016. – Т. 1, ч. 3. – С. 41-45. - 60 экз. - ISBN 978-5-7782-2991-4.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
47. Верификация интегральной микросхемы контроллера синхронного выпрямления для источников вторичного электропитания / В. А. Рыжков, А. А. Антонов, М. С. Карпович, И. К. Сурин, В. Ю. Васильев // Актуальные проблемы электронного приборостроения (АПЭП–2016) = Actual problems of electronic instrument engineering (APEIE–2016) : тр. 13 междунар. науч.-техн. конф., Новосибирск, 3–6 окт. 2016 г. : в 12 т. – Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2016. – Т. 10. – С. 55–60. - 500 экз. - ISBN 978-5-7782-2991-4, 978-5-7782-3001-9 (т. 10).
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
48. Антонов А. А. Разработка интегральных микросхем по высоковольтным субмикронным технологиям для силовой электроники / А. А. Антонов, В. Ю. Васильев, Ю. Н. Попов // Микроэлектроника-2016 : междунар. форум ; Интегральные схемы и микроэлектронные модули : 2 науч. конф., Крым, Алушта, 26–30 сент. 2016 г. – Москва : Техносфера, 2016. – C. 220–225. - 300 экз.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
49. Васильев В. Ю. Сверхтонкие пленки металлов платиновой группы для применения в нано- и микротехнологиях = Ultra-Thin Metal Films of the Platinum Group for Application in Nanoand Micro-Technologies / В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique. - 2016. – Т. 18, № 7. – С. 454–464.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
50. Васильев В. Ю. Тренды развития технологий и производства компонентов и узлов микросистемной техники = Trends in Development of the Technologies and Production of the Micro System Components / В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique. - 2016. – Т. 18, № 7. – С. 403–415.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
2015
51. A Study of regularities in formation of the island-type 3D structures during anisotropic etching of Si (100) in agueous KOH / A. S. Chernov, M. A. Chebanov, V. A. Gridchin, V. Y. Vasilyev // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique. - 2015. - № 9 (182). - С. 38–40.
Персональные сайты авторов: Чебанов М. А., Гридчин В. А., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
52. A study of 3D boss structure formation in anisotropic etching of Si (100) in aqueous KOH / A. S. Chernov, M. A. Chebanov, V. A. Gridchin, V. Y. Vasilyev, A. D. Byalik // 16 International conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices (EDM) : [proc.], Altai, Erlagol, 29 June – 3 July 2015. – IEEE, 2015. – P. 83-86. - ISBN 978-1-4673-6718-9. - DOI: 10.1109/EDM.2015.7184494.
Персональные сайты авторов: Чебанов М. А., Гридчин В. А., Васильев В. Ю., Бялик А. Д.
Проверено библиотекой
53. Chemical vapour deposition of Ir-based coatings:chemistry, processes and applications / V. Y. Vasilyev, N. B. Morozova, T. V. Basova, I. K. Igumenov, A. Hassan // RSC Advances. - 2015. - Iss. 41. - P. 32034-32063. - DOI: 10.1039/C5RA03566J
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
54. Designing and verification of integrated circuit driver for power transistor operation in AC/DC power supply units in zero voltage switching mode / A. A. Antonov, М. S. Karpovich, I. V. Pichugin, V. Y. Vasilyev, V. A. Gridchin // 16 International conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices (EDM) : [proc.], Altai, Erlagol, 29 June – 3 July 2015. – IEEE, 2015. – P. 371-374. - ISBN 978-1-4673-6718-9. - DOI: 10.1109/EDM.2015.7184565.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю., Гридчин В. А.
Проверено библиотекой
55. Development and Experimental Verification of the Driver Integrated Circuit for Power Key Soft-Switching in Power Converters / A. A. Antonov, M. S. Karpovich, I. V. Pichugin, V. Y. Vasilyev // Нано- и микросистемная техника = Journal of Nano- and Microsystem Technique. - 2015. - № 9 (182). - С. 62–64.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
56. Vasilyev V. Y. Evaluation of low temperature teos-ozone silicon dioxide thin film cvd under sub-atmospheric pressure using consecutively pulsed reactant injection / V. Y. Vasilyev // ECS Journal of Solid State Science and Technology. - 2015. - Vol. 4, iss.1. - P. N3164-N3167. - DOI: 10.1149/2.0241501jss
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
57. Karpovich M. S. In/out pad electrostatic discharge protection for sub-micron integrated circuits based on lateral bipolar transistor / M. S. Karpovich, I. V. Pichugin, V. Y. Vasilyev // 16 International conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices (EDM) : [proc.], Altai, Erlagol, 29 June – 3 July 2015. – IEEE, 2015. – P. 100-103. - ISBN 978-1-4673-6718-9. - DOI: 10.1109/EDM.20157184499.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
58. Исследование закономерностей формирования 3D островковых структур Si(100) при травлении в водном растворе КОН / А. С. Чернов, М. А. Чебанов, В. А. Гридчин, В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника. - 2015. – № 9 (182). – С. 34–38.
Персональные сайты авторов: Чебанов М. А., Гридчин В. А., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
59. Разработка и верификация интегральной микросхемы драйвера «мягкой» коммутации силовых ключей для мощных источников электропитания / А. А. Антонов, А. И. Карпович, И. В. Пичугин, В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника. - 2015. – № 9 (182). – С. 57–61.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
60. Экспериментальное исследование осевой составляющей диаграммы направленности излучения многомодового оптоволокна = Experimental study of the axial component of the radiation pattern of multimode fiber / А. Д. Бялик, В. А. Гридчин, В. Ю. Васильев, А. Н. Игнатов , А. С. Чернов // Вестник СибГУТИ (Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики). - 2015. – № 2. – С. 191–197. - Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках реализации НИР «Исследование перспективных конструкций и технологических принципов формирования оптоэлектронных приборов нового поколения (кремниевый фотоэлектрический датчик давления)» (ГК №14.430.12.0005).
Персональные сайты авторов: Бялик А. Д., Гридчин В. А., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
2014
61. Application of finite element models for design of high-precision MEMS pressure sensors / V. A. Gridchin, M. A. Chebanov, V. B. Zinov`Ev, V. Y. Vasilyev // Актуальные проблемы электронного приборостроения (АПЭП–2014) = Actual problems of electronic instrument engineering (APEIE–2014) : тр. 12 междунар. конф., Новосибирск, 2–4 окт. 2014 г. : в 7 т. – Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014. – Т. 1. – С. 11–16. – 250 экз. – ISBN 978-1-4799-6019-4, ISBN 978-5-7782-2506-0.
Персональные сайты авторов: Гридчин В. А., Чебанов М. А., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
62. Vasilyev V. Y. Chemical vapour-phase deposition of ruthenium-containing thin films / V. Y. Vasilyev, N. B. Morozova, I. K. Igumenov // Russian Chemical Reviews. - 2014. - Vol. 83, iss. 8. - P. 758-782. - DOI: 10.1070/RC2014v083n08ABEH004402.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
63. Driver test chip development for power transistor management in ac/dc power supply units in zero voltage switching mode / A. A. Antonov, M. S. Karpovich, V. Y. Vasilyev, V. A. Gridchin // Актуальные проблемы электронного приборостроения (АПЭП–2014) = Actual problems of electronic instrument engineering (APEIE–2014) : тр. 12 междунар. конф., Новосибирск, 2–4 окт. 2014 г. : в 7 т. – Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014. – Т. 1. – С. 800-803. – 250 экз. – ISBN 978-1-4799-6019-4, ISBN 978-5-7782-2506-0.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю., Гридчин В. А.
Проверено библиотекой
64. Integrated circuit test chip for power transistor operation in AC/DC power supply units in zero voltage switching mode / A. A. Antonov, M. S. Karpovich, Y. D. Kozlyaev, Y. D. Semenov, V. Y. Vasilyev // The 15 international conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices (EDM 2014) : proc., Altai, Erlagol, 30 June – 4 July 2014. – Novosibirsk : IEEE, 2014. – P. 419-423. – 125 copes. – ISBN 978-5-7782-2457-5.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
65. Интегральная микросхема драйвера "мягкой" коммутации силовых ключей для мощных источников электропитания / А. А. Антонов, М. С. Карпович, И. В. Пичугин, А. А. Курленко, В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника. – 2014. – № 6. – С. 37–42.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
66. Васильев В. Ю. Осаждение рутений содержащих тонких пленок из газовой фазы / В. Ю. Васильев, Н. Б. Морозова, И. К. Игуменов // Успехи химии. - 2014. – Т. 83, № 8. – С. 758–782.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
67. Применение конечно-элементных моделей для высокоточных МЭМС сенсоров давления / В. А. Гридчин, М. А. Чебанов, В. Б. Зиновьев, В. Ю. Васильев // Актуальные проблемы электронного приборостроения (АПЭП–2014) = Actual problems of electronic instrument engineering (APEIE–2014) : тр. 12 междунар. конф., Новосибирск, 2–4 окт. 2014 г. : в 7 т. – Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014. – Т. 2. – С. 13-18. – 100 экз. – ISBN 978-1-4799-6019-4, ISBN 978-5-7782-2507-7.
Персональные сайты авторов: Гридчин В. А., Чебанов М. А., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
68. Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей. Часть 5. Исследование макета преобразователя постоянного напряжения / В. Ю. Васильев, А. А. Антонов, И. В. Пичугин, Ю. Д. Козляев, Ю. Е. Семенов // Вестник СибГУТИ (Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики). - 2014. – № 1. – С. 64–74.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
69. Васильев В. Ю. Тренды развития методов химического осаждения из газовой фазы тонкопленочных материалов для прецизионных технологий / В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника. - 2014. – № 9. – С. 37–44.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
70. Численное моделирование элементов фотоэлектрического волоконно-оптического сенсора давления / В. А. Гридчин, В. Ю. Васильев, М. А. Чебанов, А. Д. Бялик, А. С. Чернов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. – № 6. – С. 3–7.
Персональные сайты авторов: Гридчин В. А., Васильев В. Ю., Чебанов М. А., Бялик А. Д.
Проверено библиотекой
71. 2D Modeling of photoelectric part of silicon pressure sensor / A. S. Chernov, M. A. Chebanov, A. D. Byalik, V. A. Gridchin, V. Y. Vasilyev // The 15 international conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices (EDM 2014) : proc., Altai, Erlagol, 30 June – 4 July 2014. – Novosibirsk : IEEE, 2014. – P. 67-71. – 125 copes. – ISBN 978-5-7782-2457-5. - DOI: 10.1109/EDM.2014.6882479.
Персональные сайты авторов: Чебанов М. А., Бялик А. Д., Гридчин В. А., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
2013
72. Гридчин В. А. Влияние термических деформаций на температурную стабильность характеристик кремниевых резонансных сенсоров давления / В. А. Гридчин, М. А. Чебанов, В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 3. - С. 41-44.
Персональные сайты авторов: Гридчин В. А., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
73. Васильев В. Ю. Низкотемпературное импульсное газофазное осаждение тонких слоев металлического рутения для микро- и наноэлектроники. Часть 6. Состав слоев рутения / В. Ю. Васильев, S. H. Chung, Y. W. Song // Микроэлектроника. - 2013. - Т. 42, № 1. - С. 62-75.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
74. Васильев В. Ю. Применение методов химического осаждения тонких слоёв из газовой фазы для микросхем с технологическими нормами 0,35-0,18 мкм. Часть 5. Обобщённая методология анализа закономерностей процессов роста тонких слоёв / В. Ю. Васильев // Электронная техника. Серия 2: Полупроводниковые приборы. - 2012. - Вып. 2 (229). - С. 48-63.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
75. Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей. Часть 2. Анализ схемотехнических решений источников питания1 / В. Ю. Васильев, А. А. Антонов, И. В. Пичугин, С. М. Гордиенко // Вестник СибГУТИ (Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики). - 2013. - № 1. - С. 75-84.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
76. Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей. Часть 3. Разработка макета силового модуля источника питания 1 / А. В. Марков, В. Ю. Васильев, А. А. Антонов, И. В. Пичугин // Вестник СибГУТИ (Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики). - 2013. – № 2 (22). – С. 75–85.
Персональные сайты авторов: Марков А. В., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
2012
77. Гридчин В. А. The influence of thermal strains on the characteristics of resonant pressure sensor thermal stability / В. А. Гридчин, М. А. Чебанов, В. Ю. Васильев // 11. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 23./24. Oktober 2012 S4.3.
Персональные сайты авторов: Гридчин В. А., Чебанов М. А., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
78. Источник вторичного электропитания для радиоэлектронной аппаратуры, выполненный по технологии «мягкой коммутации» ключей / В. Ю. Васильев, И. В. Пичугин, Ю. Д. Козляев, Ю. Е. Семенов, С. М. Гордиенко, В. В. Фомин // Успехи современной радиоэлектроники. - 2012. - № 11. - С. 63-70.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
79. Топякова М. В. Коррекция Субмикронных многоуровневых интегральных микросхем с помощью электронно-ионного микроскопа / М. В. Топякова, В. Ю. Васильев, А. А. Величко // Сб. тр. междунар. науч. конф. Электронная техника и технологии. - Харьков. - 2012, Т. 2. - С. 42.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю., Величко А. А.
Проверено библиотекой
80. Гридчин В. А. Моделирование влияния конструктивно-технологических параметров на характеристики кремниевых резонансных сенсоров давления / В. А. Гридчин, М. А. Чебанов, В. Ю. Васильев // Известия высших учебных заведений. Электроника. - 2012. – № 2 (94). – C. 61–66.
Персональные сайты авторов: Гридчин В. А., Чебанов М. А., Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
81. Васильев В. Ю. Низкотемпературное импульсное газофазное осаждение тонких слоев металлического рутения для микро- и наноэлектроники. Часть 6. Состав слоев рутения / В. Ю. Васильев, S.H. Chung, Y.W. Song // Микроэлектроника. - 2012. - Т. 41. - № 5. - С.1-17.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
82. Васильев В. Ю. Применение методов химического осаждения тонких слоёв из газовой фазы для микросхем с технологическими нормами 0,35-0,18 мкм. Часть 3. Закономерности роста слоев в промышленных реакторах / В. Ю. Васильев // Электронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые приборы. - 2011. - Вып. 2(227). - С. 24-36.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
83. Васильев В. Ю. Применение методов химического осаждения тонких слоёв из газовой фазы для микросхем с технологическими нормами 0,35-0,18 мкм. Часть 4. Обобщенная методология анализа закономерностей процессов роста тонких слоев / В. Ю. Васильев // Электронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые приборы. - 2012. - Вып. 1(228). - С. 3-18.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
84. Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей. Часть 1. Анализ информационных материалов и образцов источников питания / В. Ю. Васильев, Ю. Д. Козляев, И. В. Пичугин, Ю. Е. Семёнов, С. М. Гордиенко, А. А. Антонов // Вестник СибГУТИ (Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики). - 2012. - № 3. - С. 86-97.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Проверено библиотекой
2011
85. Васильев В. Ю. Низкотемпературное импульсное газофазное осаждение тонких слоев металлического рутения для микро- и наноэлектроники. Ч. 4. Структура и основные свойства слоев рутения / В. Ю. Васильев // Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 4. – С. 300–308.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
86. Васильев В. Ю. Низкотемпературное импульсное газофазное осаждение тонких слоев металлического рутения для микро- и наноэлектроники. Ч. 5. Взаимосвязь закономерностей роста, структуры и свойств слоев рутения / В. Ю. Васильев // Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 6. – С. 441–452.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
87. Васильев В. Ю. Применение методов химического осаждения тонких слоев из газовой фазы для микросхем с технологическими нормами 0,35-0,18 мкм. Ч. 2. Аппаратура и методология осаждения слоев / В. Ю. Васильев // Электронная техника. Серия 2. Полупроводниковые приборы. – 2011. – Вып. 1 (226). – С. – 51–66.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
88. Проектирование сложнофункционального блока видеодекодера для субмикронных интегральных микросхем типа «система на кристалле» / П.С. Хабаров , Д.Л. Шлемин, В.Д. Лысь, Ю.П.. Лебедев, В. Ю. Васильев, И Др. // Успехи современной радиоэлектроники. Зарубежная радиоэлектроника. – 2011. – № 7. – С. 54–59.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
89. Проектирование сложнофункциональных блоков смешанного сигнала на основе субмикронной технологии на примере микросхемы видеодекодера. Ч. 1. Конструкция и топология микросхемы / П.С. Хабаров, Д.Л. Шлемин, В.Д. Лысь, Ю.П. Лебедев, В. Ю. Васильев, И Др. // Вестник СибГУТИ. – 2011. – № 2. – С. 23–34.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
90. Проектирование сложнофункциональных блоков смешанного сигнала на основе субмикронной технологии на примере микросхемы видеодекодера. Ч. 2. Верификация микросхемы «на кремнии» / П.С. Хабаров, Д.Л. Шлемин, В.Д. Лысь , Ю.П. Лебедев, В. Ю. Васильев, И Др. // Вестник СибГУТИ. – 2011. – № 3. – С. 3–13.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
91. Васильев В. Ю. Разработка процессов CVD для современных электронных технологий / В. Ю. Васильев // Второй семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы. Новосибирск: ИНХ СО РАН, 14–16 июня 2011. - С. 60.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
2010
92. Васильев В. Ю. Eguipment and Methodology Aspects of Nano-Thick Film Growth by Consecutive Gas Pulsed Chemical Vapor Deposition Teechnigue at Low Temperatures / В. Ю. Васильев, Y. W. Song // 11th International Conference and Seminar on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices Proceedings EDM`2010, June 30 – July 4, Erlagol, 2010, р. 9-17.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
93. Васильев В. Ю. НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЕ ИМПУЛЬСНОЕ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ СЛОЕВ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО РУТЕНИЯ ДЛЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ. ЧАСТЬ 2. КИНЕТИКА РОСТА СЛОЕВ РУТЕНИЯ / В. Ю. Васильев // МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, 2010, том 39, № 3, с. 219–229.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
94. Васильев В. Ю. НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЕ ИМПУЛЬСНОЕ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ СЛОЕВ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО РУТЕНИЯ ДЛЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ. ЧАСТЬ 3. НУКЛЕАЦИОННЫЕ ЯВЛЕНИЯ ПРИ РОСТЕ СЛОЕВ РУТЕНИЯ / В. Ю. Васильев // МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, 2010, том 39, № 4, с. 1–11.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
95. Васильев В. Ю. Низкотемпературное импульсное газофазное осаждение тонких слоев металлического рутения для микро- и наноэлектроники. Часть 1. Оборудование и методология импульсного осаждения / В. Ю. Васильев // Микроэлектроника, 2010, Т. 39, № 1, с. 28-37.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
96. Васильев В. Ю. Применение методов химического осаждения тонких слоев из газовой фазы для микросистем с технологическими нормами 0.35-0.18 мкм. Часть 1. Основные тенденции развития методов / В. Ю. Васильев // Электронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые приборы, 2010, В.1,С.67-82.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
2009
97. Васильев В. Ю.  Features of Thin Film CVD Processes Used in IC Device Technology / В. Ю. Васильев // 10 th International Conference and Seminar on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices Proceedings: EDM’2009, Erlagol, Altai – July 1-6, 2009, с. 104-111.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
98. Васильев В. Ю. Properties of thermally annealed ruthenium thin films grown on seed layers in low temperature selective deposition region / В. Ю. Васильев, К.П. Могильников, Й-В Сонг // Current Applied Physics, 2009, v.9, 148-151.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
99. Васильев В. Ю. Ruthenium Thin Film Growth under Low Temperature Pulsed CVD Conditions Using Carbonyl-Diene Precursor / В. Ю. Васильев // INT. SCHOOL AND SEMINAR INTERNANO`2009, TABLE OF CONTENTS, OCT. 28-31, NSTU, NOVOSIBIRSK, RUSSIA, p. 78-80.
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
2005
100. Осаждение диэлектрических слоев из газовой фазы / В. Ю. Васильев, С. М. С.М. Репинский // Успехи химии.- Т. 74, №5
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
101. Васильев В. Ю. Тонкие слои борофосфоросиликатного стекла в технологии кремниевой микроэлектроники. Строение стекол и их применение в технологии / В. Ю. Васильев // Микроэлектроника. - Т. 34, № 2
Персональные сайты авторов: Васильев В. Ю.
Не подлежит проверке библиотекой
Наверх