Васильев
Владислав Юрьевич

Сведения о диссертации

степень год название работы научная специальность
к.х.н.   1990 Синтез слоев нитрида и диоксида кремния осаждением из газовой фазы на основе хлорпроизводных моносилана 02.00.04  
д.х.н.   2002 Процессы химического осаждения из газовой фазы и свойства фосфор- и боросиликатных стеклообразных слоев 02.00.21  
Наверх